EA Reactive Ion Etcher (RIE)

Voor het bestuderen van geïntegreerde schakelingen is het nodig om hele dunne lagen in chips selectief te kunnen verwijderen. Dat kan met een zogenaamde RIE-opstelling. De scope van de aanbesteding is: -Aflevering van een compacte RIE-opstelling. De RIE-opstelling heeft ongeveer een koelkastformaat. Onder Aflevering valt ook het uitvoeren van (acceptatie)testen, het geven van een instructie aan NFI-medewerkers, verstrekken van een user manual, onderhoudshandleiding, technische documentatie en al het andere dat nodig is in het kader van het bedrijfsklaar opleveren van de RIE-opstelling en de implementatie daarvan. Het een en ander zoals gespecificeerd in de Aanbestedingsdocumenten, en in het bijzonder het Programma van Eisen; -Garantie van 1 jaar is van toepassing op de gehele RIE-opstelling, ingaande na Acceptatie van de RIE-opstelling. In het Programma van Eisen staat wat aanvullend op artikel 4 van de ARIV-2026 bij de garantie moet zijn inbegrepen. -Onderdelen die tijdens de levensduur vervangen dienen te worden.   In het Programma van Eisen staat o.a. dat alle onderdelen in een separate bijlage aangeboden dienen te worden.